测试聚焦选择性镀金与局部加厚工艺,下面按技术视角整理相关资料。
金锡边界宽度用金相切片或SEM测,精度±0.05mm;激光边界可达±20μm,验收看宽度与过渡是否连续无硬阶。
接触电阻用四线法在标称电流下测,取稳定值;判据看初始值与寿命后漂移,通常要求≤20mΩ且漂移小。
薄层在线抽检用XRF快且不破坏,仲裁与看分布用金相法;XRF需校准基材,金相要垂直切片避免斜切虚厚。